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真空镀膜基础知识

  一,镀膜作业步骤:

  准备工作

  1.镀膜前洗净

  2.抽检镜片外观确认(裂边,伤痕,不洁)情况,全检镜片锁板情况(镜片倾斜,

  3.确认好准备镀膜的镜片(数量,机种,面别)并做好相应记录

  4.上伞,

  将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片

  5.区分需要镀膜镜片种类面别

  6.清洁坩埚电子枪周围用铜刷刷,吸,并添加药材

  7.确认晶振片,监控片是否OK在新的位置

  8.确认机台内无杂物,后关门排气加热

  9.镀膜

  选取相应的制程

  10.人员镀膜过程中进行监控

  11.下伞

  将镀膜后的镜片从伞架取下,放入包装盒

  12.抽检

  主要为膜点,雾状,颜色异常,不洁

  13.光谱测量

  采用奥林巴斯反射测定仪和U4100分光光度计

  14.伞架每圈抽1PCS共5圈

  15.膜强度测试(采用3M胶带粘拉膜3次)

  16.光谱量测OK后可送出

  二,镀膜制造需要部分耗材

  1.SIO2颗粒或环状(∮300*∮230*T7.5mm,)需要根据机台配置选用

  2.TIO2颗粒

  3.晶振片Filtex 6MHZ或INFICON6MHZ

  4.监控片BK7 Φ142*80*1.8mm,需要根据机台配置选用

  5.铜坩埚,需要根据机台配置选用

  6.铝箔厚度0.05mm*宽610mm

  7.电子枪灯丝,需要根据机台配置选用

  8.离子源,需要根据机台配置选用耗材

  三,设备日常维修保养部件需要根据机台型号选用

  四,光学镀膜机台品牌分玻璃机和塑胶机配置不一样,尺寸可以选择,900mm,1100mm,1300mm,1350mm,

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