真空镀膜基础知识

　　一,镀膜作业步骤:

　　准备工作

　　1.镀膜前洗净

　　2.抽检镜片外观确认(裂边,伤痕,不洁)情况,全检镜片锁板情况(镜片倾斜,

　　3.确认好准备镀膜的镜片(数量,机种,面别)并做好相应记录

　　4.上伞,

　　将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片

　　5.区分需要镀膜镜片种类面别

　　6.清洁坩埚电子枪周围用铜刷刷,吸,并添加药材

　　7.确认晶振片,监控片是否OK在新的位置

　　8.确认机台内无杂物,后关门排气加热

　　9.镀膜

　　选取相应的制程

　　10.人员镀膜过程中进行监控

　　11.下伞

　　将镀膜后的镜片从伞架取下,放入包装盒

　　12.抽检

　　主要为膜点,雾状,颜色异常,不洁

　　13.光谱测量

　　采用奥林巴斯反射测定仪和U4100分光光度计

　　14.伞架每圈抽1PCS共5圈

　　15.膜强度测试(采用3M胶带粘拉膜3次)

　　16.光谱量测OK后可送出

　　二,镀膜制造需要部分耗材

　　1.SIO2颗粒或环状(∮300*∮230*T7.5mm,)需要根据机台配置选用

　　2.TIO2颗粒

　　3.晶振片Filtex 6MHZ或INFICON6MHZ

　　4.监控片BK7 Φ142*80*1.8mm,需要根据机台配置选用

　　5.铜坩埚,需要根据机台配置选用

　　6.铝箔厚度0.05mm*宽610mm

　　7.电子枪灯丝,需要根据机台配置选用

　　8.离子源,需要根据机台配置选用耗材

　　三,设备日常维修保养部件需要根据机台型号选用

　　四,光学镀膜机台品牌分玻璃机和塑胶机配置不一样,尺寸可以选择,900mm,1100mm,1300mm,1350mm,